TEM介紹及其在半導(dǎo)體失效分析中的應(yīng)用

簡(jiǎn)要描述：

近年來，隨著半導(dǎo)體行業(yè)飛速發(fā)展，相關(guān)產(chǎn)品關(guān)鍵結(jié)構(gòu)尺寸的進(jìn)一步微納米化，透射電鏡逐漸開始作為半導(dǎo)體失效分析的有力工具。為了讓用戶對(duì)透射電鏡相關(guān)內(nèi)容有進(jìn)一步的了解，此次公開課特意邀請(qǐng)英國(guó)曼徹斯特大學(xué)材料學(xué)博士、廣電計(jì)量半導(dǎo)體技術(shù)副經(jīng)理劉辰開展主題為《透射電鏡原理介紹及其在半導(dǎo)體失效分析中的應(yīng)用》線上公開課。（TEM介紹及其在半導(dǎo)體失效分析中的應(yīng)用）

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更新日期：2025-08-30

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詳細(xì)介紹

品牌	廣電計(jì)量	課程形式	線上直播
課程時(shí)間	2023-3-30 上午9:30	講師	英國(guó)曼徹斯特大學(xué)材料學(xué)博士劉辰
課程價(jià)格	免費(fèi)

透射電子顯微鏡（TEM）于1932年左右發(fā)明，是一種以波長(zhǎng)極短的電子束作為電子光源，利用電子槍發(fā)出的高速的、聚集的電子束照射至非常薄的樣品，收集透射電子流經(jīng)電磁透鏡多級(jí)放大后成像的高分辨率、高放大倍數(shù)的電子光學(xué)儀器。

透射電鏡具有分辨率高、可與能譜儀等其他技術(shù)聯(lián)用的優(yōu)點(diǎn)，在物理、化學(xué)、生物學(xué)和材料學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。近年來，隨著半導(dǎo)體行業(yè)飛速發(fā)展，相關(guān)產(chǎn)品關(guān)鍵結(jié)構(gòu)尺寸的進(jìn)一步微納米化，透射電鏡逐漸開始作為半導(dǎo)體失效分析的有力工具。

4nm制程芯片TEM成像圖

為了讓用戶對(duì)透射電鏡相關(guān)內(nèi)容有進(jìn)一步的了解，此次公開課特意邀請(qǐng)英國(guó)曼徹斯特大學(xué)材料學(xué)博士、廣電計(jì)量半導(dǎo)體技術(shù)副經(jīng)理劉辰開展主題為《透射電鏡原理介紹及其在半導(dǎo)體失效分析中的應(yīng)用》線上公開課。屆時(shí)，報(bào)名用戶不僅能免費(fèi)參與課程，聽課期間還有專業(yè)的技術(shù)專家團(tuán)隊(duì)為大家進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)答疑。